台北報導
　全球晶片微影技術領導廠商艾司摩爾ASML於SEMICON Taiwan分享新一代高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）微影技術，並表示將協助晶片製造商簡化製造工序、提高產能，並降低每片晶圓生產的能耗。ASML High NA EUV產品管理副總裁Greet Storms在6日的媒體分享會表示，多數使用EUV客戶已下單High NA EUV，High NA EUV希望在2026年往量產方向推進。市場也預期，台積電有機會率先採用High NA EUV維持先進製程的優勢。
　ASML High NA EUV產品管理副總裁Greet Storms表示，ASML持續推進新的技術，目前EUV客戶，大多數也都有下High NA EUV訂單，目前ASML正和客戶緊密合作，2026年希望能往量產方向推進。
　ASML致力研發創新降低能源消耗，透過與客戶密切合作，在提高生產力的同時，減少製造每片晶圓所產生的能耗。根據ASML 2023年報，從2018年到2023年，ASML EUV曝光每片晶圓的能耗減少了近40％，此外更希望到2025年再減少30％～35％的能耗。

上看800億，將導入最先進1技術

台北報導
　台灣半導體實力在國際上有目共睹，行政院副院長沈榮津21日接受專訪表示，國際科技大廠將接踵在台落地，加碼投資台灣，其中美光最先進製程明年要在台灣落地；荷商艾司摩爾（ASML）要落腳林口打造亞洲專屬園區（PARK）；而台積電1奈米廠落腳龍潭園區，將投資兆元、帶來上萬個就業機會，且帶動食衣住行產業遷徙繁榮地方，未來桃園會像個「聚寶盆」，尤其台積電在北中南陸續投資先進製程，台灣會是一個科技島。
　據了解，美光明年在台加碼投資上看800億元（含採購），將導入最先進的1γ技術，會在2024年量產。
　國際諸多科技大廠例如ASML、美光，還有台積電，最近相繼加碼投資台灣，沈榮津銜蘇揆之命成立專案小組，親力親為開會解決水電、土地及人才等各種障礙。據統計，2020年至2025年半導體及相關設備材料商投資台灣3.8兆元。
　沈榮津透露，美光最先進製程會在台灣落地，後續也承諾在台灣加碼投資，日前他和經長王美花接見美光高層時，曾詢問其在台投資有沒有後悔？美光高層表示，台灣政府的行政效能讓其感到放心。
　據悉，美光明年計劃擴大在台投資，預計明年導入1β技術，領先三星，明年底以前在台量產；同時已導入最先進的1γ技術進來台灣研發，預計2024年在台灣落地量產，屆時其最先進製程也會採用ASML的EUV設備。
　至於台積電將在龍潭園區打造1奈米廠，沈榮津指出，台積電2奈米廠投資約8,000億元，創造8,000個工作機會，進入1奈米世代，會創造約兆元以上投資，並為帶來上萬個百萬年薪的家庭，從園區開發、建廠、生產，食衣住行育樂都有龐大消費行為，將為地方帶來繁榮，且會在桃園複製社區營造，帶動產業遷徙，會像一個聚寶盆。
　考量台積電客戶的需求，最重要半導體設備製造商ASML，明年7月將在林口進行大規模投資案，首期投資至少300億元，ASML計畫在林口打造專屬園區（park），把相關國際供應鏈夥伴一起帶進台灣，讓關鍵技術在台灣共同研發、製造，同時進行人才培訓及重要維修基地，讓台灣半導體製造供應鏈更加完整。