產業新訊

中山大技轉碳化矽晶體 助攻半導體

新聞日期:2023/07/20 新聞來源:工商時報

報導記者/顏瑞田

高雄報導
 國立中山大學晶體研究中心率先成功生長出直徑6吋的碳化矽晶體塊材,今年7月起技轉台灣應用晶體公司及其所屬集團,簽訂5年5千萬元技術移轉案,助攻台灣次世代半導體材料優勢。
 中山大學材料與光電科學學系教授兼晶體研究中心主任周明奇19日指出,研發過程結合中鋼、中鋼碳素等國內企業專業,除在石墨隔熱材料、坩堝及晶體生長設備等領域助攻MIT產業升級,今年7月起更技轉台灣應用晶體集團。第三類(次世代)半導體材料碳化矽(SiC)具備低耗損、高功率、低雜訊、散熱佳等不可取代的特性,但晶體生長的技術門檻高。
 周明奇強調,碳化矽晶體是國家重要戰略物資,可多元應用於電動車、光電、衛星通訊、國防、生醫等領域,中山大學團隊創全國學研單位之先,已取得晶體生長關鍵突破,成功生長6吋導電型(n-type)4H碳化矽單晶,並在品質穩定、生長速度等面向持續優化。而除了第三類半導體材料碳化矽晶體的優勢,中山大學同步研發第四類半導體氧化鎵(Ga2O3)的單晶塊材(Bulk Crystal)。
 周明奇表示,中山大學團隊攜手台灣企業共同創新,例如長晶設備包括電源供應器及電腦控制系統等軟硬體100%MIT,長晶爐是由中山大學創新育成中心孵化的企業所打造,坩堝(存放碳化矽原物料的容器)及石墨等隔熱材料更有賴高雄在地企業的應援。他說,特別感謝包括中鋼與中碳的專業支援,提供許多協助。

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